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SEMILAB工易谷自营店
自营
产品数量:1

我们公司成立于1989年,由匈牙利科学院技术物理研究所的一组科学家组成。从历史上看,我们扩大了我们在电气和光学测量技术方面的产品组合,并且我们的公司已经大幅增长:我们在半导体计量设备,太阳能电池制造电气计量和显示器行业领域拥有重要的全球市场份额。我们设计、生产和销售用于半导体和光伏材料表征的计量设备,用于监控半导体器件、平板显示器和太阳能电池的制造过程,以及用于这些领域的研发目的。我们提供各种测量技术;其中大多数是非接触式和非破坏性的。我们的许多技术可以灵活地集成到不同的平台中,从简单的手持设备和具有高分辨率映射功能的桌面系统,到用于晶圆厂的全自动独立生产控制工具。我们还为太阳能电池生产线提供在线测量。

SEMILAB主要产品:

激光椭偏仪、瞬态光谱仪、红外反射仪

SEMILAB主要型号:

LE-103PV、ACV-2200、ACV-3100、FAaST 300 SL、DLS-1100

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联系方式

15921902320
info@gongyigu.com
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SEMILAB 激光椭偏仪 LE-103PV
SEMILAB 激光椭偏仪 LE-103PV
产品编码: P5396314170171850755

SEMILAB 激光椭偏仪 LE-103PV

品      牌
型      号
LE-103PV
数      量
型号规格
产品型号
操作
LE-103PV
产品介绍

用于硅太阳能电池的激光椭偏仪 紧凑型创新设备,旨在测量沉积在纹理硅(单硅和多硅)衬底上的抗反射涂层的厚度和光学常数。可以轻松实现优化的入射角(12-90°),以获得沉积在多晶结构晶圆上的薄膜的大信号。金字塔结构可以定向以获得正确的测量值,同时将样品牢固地保持在适当的位置。

  • 01
    性能特点
    • 确定减反射涂层的薄膜厚度和光学常数(折射率和消光系数)
    • 用于稳定性和自动校准的集成光学元件
    • 微点聚焦光学元件,用于良好信号收集。
    • 特别改装的样品架,适用于 156×156 mm 的样品池尺寸。
    • 在线集成,实现快速过程控制。
    • 符合智能软件标准。
    • 样品对准:用于手动倾斜和高度调整的大信号检测。
  • 02
    技术参数
    • 测量波长:632.8 nm(氦-Ne激光)
    • 样品台:兼容 156 × 156 mm
    • 测角仪:55° - 90° 手动控制

     

售后服务
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