工业品数字化融合服务平台
×
INTELLIDRIVES 开放式 XY 旋转平台 XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

INTELLIDRIVES 开放式 XY 旋转平台 XY-OF-UL-200X200+ACR160UT

订货号
M5371662009706217480
品牌
型号
XY-OF-UL-200X200+ACR160UT
产品价格
待询
数量
规格参数筛选
更多型号
产品信息 参数 详情
产品介绍

集成系统将线性或 XY 平台与转台相结合,提供交钥匙解决方案。 平台可配备直接驱动直线电机或基于滚珠丝杠的机械装置。

 

  • 01
    性能特点

    开放式 XY 旋转平台设计用于半导体制造行业中的晶圆处理和许多其他自动化定位应用。 位于单元侧面的 XY 驱动机构和大型中心通孔转台提供了清晰通畅的晶圆访问。

  • 02
    技术参数

    XY台:XY-OF-UL-200x200

    旋转台:ACR-160UT

    电机类型:无刷伺服电机/编码器(标准)

    直线伺服电机(选件)

    XY行程:200 x 200 mm

    中心孔径:直径160 mm

    分辨率(线性):1 micron(注 1,2)

    2.5 micron(注3)

    分辨率(旋转):1.4 arc-sec

    重复性(线性):5 micron(注3)

    1 micron(注 1,2)

    重复性(旋转): 2 arc-sec

    速度:400mm/sec(注 3)

    800mm/sec(注2)

    负载重量: 30 kg

    载物台重量:16 kg

    (注1)带线性编码器(可选)

    (注2)直线伺服电机(可选)

    (注 3)滚珠丝杠 10 mm 导程,无刷伺服驱动

  • 03
    产品尺寸

售后服务
×
产品已加入询价车!

温馨提示

亲爱的客户:如果没找到您需要的产品,您可以发布询盘。

温馨提示

亲爱的客户:如果店铺里没找到您需要的产品,您可以发布询盘。
电话 咨询 微信 咨询

服务热线

400-128-2208

微信扫一扫直接聊