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该系统是直线推杆 LSMA-200（垂直行程 100 mm）和 XY 工作台 LSMA-167（行程 25 x 25 mm）的组合。可根据要求提供不同的阶段组合和行程行程。作为选项，可以安装旋转台 RTHM-190。
旋转台（可选）RTHM-190
旋转：无限制
重复性：20 arc-sec
分辨率：2 arc-sec
扭矩：1 Nm
角速度：8 rpm
机械，比率：蜗轮，180:1
电机：步进
伺服
升降台LSMA-200
行程：100 ... 200 mm
重复性：1µm
分辨率：0.25 µm
负载能力：4 kg
速度： 20 mm/sec（伺服）
机械，丝杠导程：丝杠，0.5 mm
电机：步进
伺服
XY载物台XY-LSMA-167-25x25
重复性：1 µm
分辨率：0.25 arc-sec
升程平移：0.25 mm/rev丝杠
1mm/rev滚珠丝杠
速度：max.20 mm/sec（伺服）
机械，丝杠导程：丝杠0.25 mm，滚珠丝杠 1 mm
电机：步进
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