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上海连航机电科技有限公司

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产品数量：17634

授权经销品牌

代理品牌

企业类型：

公司

法人姓名：

陆春梅

注册号：

310115002597528

经营状态：

存续

成立日期：

2015-03-04

注册资本：

500万人民币

省份：

上海

组织机构代码：

332792577

统一社会信用代码：

91310115332792577W

上海连航机电科技有限公司

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厂家授权

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厂家授权

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主营产品

电机、马达

气体分析仪器

过滤器和分离器

泵

联系方式

15921867049

info@linhorn.com

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BOC EDWARDS 真空隔离阀 VIV25EKA

产品编码： P5367310961478729737

BOC EDWARDS 真空隔离阀 VIV25EKA

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产品介绍

VIV 真空隔离阀旨在与 nXDS、XDS、nXLi 和 nXRi 干式初级泵一起使用，是一种高电导、快速作用的高真空隔离阀，旨在防止蒸汽或颗粒从前级泵移动到工艺室 . 当 VIV 关闭时，前级泵排气。当泵停止或停止时，VIV 可保护工艺室不被通风。当前级泵重新启动时，阀门将在 VIV 内的压力下降时缓慢打开，从而大限度地减少任何压力爆裂的影响。

01

性能特点
- VIV 阀具有高传导性
- 快速关闭动作
- 断电保护
- 灵活的安装选项
- 不限制主泵性能
- 防止蒸汽或微粒从前级泵迁移到工艺室
- 防止电源故障时工艺室排气
02

技术参数
- 关闭压差:>200 mbar
- 开启压差:<200 mbar
- 开启开关时间:<15s
- 用于合闸切换时间:<0.1s
- 响应时间切换时间:<0.05s
- 机身材质:铝
- 密封材料:氟橡胶

产品资料

BOC EDWARDS-真空隔离阀-VIV25EKA.pdf
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