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天津赛力斯自动化科技有限公司

企业认证

品牌授权

产品数量：17572

授权经销品牌

代理品牌

企业类型：

公司

法人姓名：

陆春梅

注册号：

120112000100742

经营状态：

存续

成立日期：

2010-11-23

注册资本：

500万人民币

省份：

天津

组织机构代码：

56610139-6

统一社会信用代码：

911201125661013965

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天津赛力斯自动化科技有限公司

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18622238076

sales@celiss.com

供应产品分类

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产品编码： P5366964737143734279

BOC EDWARDS 涡轮分子泵 STP-iXA4506

品牌

BOC EDWARDS

型号

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型号规格

产品型号	介质	介质温度	材质	流量范围	环境温度	转速	工作压力	噪声级别	操作
STP-iXA4506									收藏询价

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产品介绍

Edwards STP-iXA4506 系列磁悬浮涡轮分子泵 (TMP) 采用先进的技术，为当今具有挑战性的应用提供良好的性能、改进的气流能力和高温管理。 STP-iXA4506 TMP 在 12-16 英寸（300-400 毫米）入口法兰上实现了 4300 l/s (N2) 的抽速和高达 4300 sccm (N2) 的吞吐量，使 STP-iXA4506 TMP 成为广泛的大容量、高流量应用，包括半导体蚀刻、LCD 蚀刻、玻璃涂层、太阳能 PVD 和涂层 PVD。其紧密集成的设计包括一个完全密封的电子模块，可在苛刻的工厂环境中实现稳健、可靠的运行。而且，与我们所有的磁悬浮 TMP 一样，无机械轴承实际上去除了定期维护的成本。

01

性能特点
- 温度管理系统（TMS）单元可用于产生副产品的过程。
- 可选的 B* 涂层可适用于使用 TMS 的高通量工艺。
- 完全集成的控制器和电源去除了对电缆和单独的控制器机架的需求，从而形成了具有成本效益的紧凑型 TMP 封装，安装速度快、安装方便、占地面积小。
- 该泵将在冷却水供应高达 35°C 的情况下运行。
02

技术参数
- 出口法兰：KF40
- 允许背压：266(2)Pa(Torr)
- 最大气体流量N2：4300
- 最大气体流量Ar：2600
- 额定转速：24,240rpm
- 启动时间：≤11分钟
- 安装位置：任意方向
- 输入电压：200-240V
- 不带TMS的最大输入功率：1700VA
- 有TMS的最大输入功率：2200VA