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BOC EDWARDS-冷冻机-POLYCOLD MAXCOOL 2000.pdf下载
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Polycold MaxCool 2000 Cryochiller 是一种闭环低温制冷系统,可提供高达 2,000 瓦的冷却。 它可用于通过将水蒸气和其他可冷凝物质冷冻到冷表面(例如低温盘管或 V 形挡板)上来捕获它们。 MaxCool 2000 Cryochiller 还可用于将物体冷却至低温,例如用于半导体晶片加工的静电吸盘。Polycold MaxCool 2000 Cryochiller 可捕获水蒸气,该水蒸气占高真空系统中残留气体的百分之65至百分之95。 水蒸气通常是存在的良好反应性的污染物。 使用我们的 MaxCool Cryochiller,您可以期望现有系统中的产品吞吐量增加百分之20到百分之100,并提高沉积质量。