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天津赛力斯自动化科技有限公司
企业认证
产品数量:17573
授权经销品牌
代理品牌
企业类型:
公司
法人姓名:
陆春梅
注册号:
120112000100742
经营状态:
存续
成立日期:
2010-11-23
注册资本:
500万人民币
省份:
天津
组织机构代码:
56610139-6
统一社会信用代码:
911201125661013965
天津赛力斯自动化科技有限公司
GENERAL DEVICES
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HUGHES
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sales@celiss.com
供应产品分类
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ONTO 光刻系统 JetStep G45
ONTO 光刻系统 JetStep G45
产品编码: P5358162688537001991

ONTO 光刻系统 JetStep G45

品      牌
型      号
数      量
型号规格
产品型号 重量 防护等级 环境温度 操作方式 工作温度 外形尺寸 额定功率 输入电源 额定电压 运行速度 用途 其他特性 材料
操作
JetStep G45
产品介绍

JetStep G45 系统可满足移动显示行业的苛刻要求。该系统基于成熟的步进技术,将优化的性能与良好的拥有成本相结合。JetStep G45 系统在 >200mm 的视场直径范围内具有 <1.5μm 的分辨率能力。低失真光学结合高速运动使系统能够实现<0.5μm的覆盖。JetStep G45 系统放大光学器件允许使用 6 英寸标线片(掩模),与竞争技术相比,显着降低了加工成本。此外,该系统占地面积小,可大限度地降低设施成本,其无摩擦运动可减少磨损,从而降低维护成本。综合节省导致成本低廉的制造过程,降低了资本支出和拥有成本 (COO)。 

  • 01
    性能特点
    • 自动放大控制增加了工艺窗口
    • 板载标线管理系统提供大利用率
    • 用于现场校准的机载计量包
    • 在每个曝光位置进行动态自动对焦,以自动调整面板拓扑上的焦点
    • 提供系统性能和故障排除反馈的板载诊断
  • 02
    技术参数
    • 分辨率达 1.5µm 的高保真投影镜头和照明系统
    • 行业标准的 6 英寸光罩格式,用于经济的制造
售后服务
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