阀门处理半导体和其他加工中的应用,常用于将泵和样品入口锁与 HV 或 UHV 工作室隔离。
阀门对行业的重要性几乎与泵一样重要。我们提供各种尺寸的阀门类型。
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- CF 法兰(带铜垫片):在大气中工作,压力范围为 10-11 托,可烘烤至 200°C(移除执行器)
- 通用电抛光不锈钢
- 1,100°C 真空钎焊,确保在 HV 和 UHV 压力下可靠运行
- 在紧凑的设计中提供高电导率
- 无冲击运行,振动小
- 需要维护前的 100,000 次循环服务
- 提供手动或气动操作
- 气动阀在断电或气压损失的情况下关闭或保持关闭
- 所有气动5” 法兰外径和更大的型号包含用于位置指示的磁性 REED 开关
- 气动阀配备 120VAC 电磁操作器,无需额外费用(其他电压,交流和直流,可根据要求提供)
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