APC200是GPC3000的升级版,压力流量控制器基本为电容压力计供电(±15VDC),接收并显示来自电容压力计的压力信号,连接节流阀,通过PID或自整定功能控制压力. 它是一个控制装置。其中,如果使用自整定功能,则通过检测流入腔室的气体量、泵速、阀位引起的真空压力变化等重要参数来获取压力控制因素。如果用户使用此功能来控制压力,可以更快地达到所需压力。内置两个过程限位继电器,帮助用户设备过程。
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- APC200 有一个PCB 卡,可以选择至多连接4 个MFC,每个PCB 包含2 个通道(连接2 个MFC)。
- APC200 的设计非常方便且易于通过本地(前面板)、I/O 或 RS-232 / RS-485 远程控制。
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- 压力输入信号:标准:0-10 VDC
- 所需输入功率:90-132 或 180-264 VAC,50/60 赫兹
- 控制器重复性:±0.1% FS
- 环境操作温度:150℃ - 450℃
- 输出功率:±15 VDC ±5% @ 1.5 安培
- 模拟输出信号:0-10 VDC 用于 0-100% 阀门位置和 0-10 VDC 用于 1-100%,FS 压力
- 尺寸:1/2-机架包装:88mm H x 241mm W x 225 D