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SYSCOM INSTRUMENTS-三轴加速度计-MS2002+.pdf下载
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MS2002+ 是一款基于微机械硅芯片、用于信号调节的 ASIC 和用于存储校准数据的 EEPROM 的三轴加速度计。MS2002+ 的小尺寸、坚固的防溅设计和良好的长期稳定性使 MS2002+ 成为核电厂和其他应用中地震监测的匹配。Syscom 的 MS2002+ 出厂时已校准,配备自检功能,无需重新校准。通过优化传感器结构,进一步改进了硅微加工电容传感器的成熟技术。 将电子器件集成到特定应用的 IC 中会产生一个小型高精度加速度计,它显示出类似于集成电路的环境和可靠性性能。 这种加速度计是三轴装置,非常适合地震仪器。