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ENTEGRIS流量控制器NT6510系列.pdf下载
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Entegris 采用创新的流量控制技术解决当今流量控制的难题。InVue 集成流量控制器 (IFC) NT6510 专为超纯液体化学品、去离子水和 CMP 泥浆的使用点化学品混合和分配而设计。NT6510 控制器还设计用于有效控制产生气泡的介质，专为需要中低流量的应用而设计。它是目前较小的 InVue 集成流量控制器，为液体处理系统节省了宝贵的空间。我们的 IFC 采用成熟可靠的压差流量测量技术和新型的闭环过程控制。可视化指示器可为预防性维护、故障排除和报警条件提供诊断，使用户能够集成更准确的功能。阀座和隔膜的设计可大限度地减少死体积和流体剪切力，从而降低工艺污染的可能性。InVue IFC 的润湿部件采用氟化材料，是保护化学完整性的适配选择。此外，耐化学腐蚀的非润湿部件在恶劣的化学环境中也能发挥优良的性能。InVue IFC 采用双聚四氟乙烯阀隔膜，用于流体密封和污染保护。利用电动阀和流量计技术，封装的内部电子元件可控制流量控制器的所有方面。这些装置由设定点信号（例如 4 - 20 mA、0 - 10 VDC）激活，以将流体流量保持在所需的设定点。
与其他常用技术相比，在易产生气泡的介质中精度高
内置压力传感器，可同时进行流量和压力双输出
占地面积小，节省空间，易于安装
重复性高，可实现优良的过程控制
快速响应，实现准确的分配率
LED 状态和离散报警输出
产地：美国
润湿部件材质：
阀体、阀膜： PTFE；
传感器接口： CTFE 或 PFA；
主 O 形圈： Perfrez PXC Ultra
非润湿部件：聚丙烯、PVDF、Viton、聚氨酯和尼龙（除上述材料外）
工作范围%：满量程流量的 10 至 100
流量控制精度：± 全量程的 1 %（使用 23 °C [73 °F] 的去离子水校准）
重复性：± 0.5 % 满量程
压力测量：0 至 414 kPa (0 至 60 psig)
压力精度：± 全量程的 1 %
工作压力：69 至 414 kPa (10 至 60 psig)
Min差压要求：10 psi，差压
输出信号：两个 4 至 20 mA 电气隔离输出，一个用于流量，一个用于压力
响应时间：< 3 秒
过压限制：690 kPa (100 psig)
过程温度：10 至 65 °C (50 至 149 °F)
电气输入：24 VDC（± 10 %），1.2 A
设定点输入信号：4 - 20 mA、0 - 10 VDC、0 - 5 VDC
外壳：IP64
重量：约 1.8 kg（4.0 磅）
符合认证：CE
软件：基于 Windows 的界面，用于用户设置、校准、监控和数据收集
系统要求：Windows 7 或 10，8GB 内存（Min）
当前软件版本 InVue TechTool 1.0.1.3
关键分配应用、化学品添加和混合、按需化学混合
