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我们的超稳定差分激光干涉仪SP 5000 DI具有独特的热稳定性，因此是研发中长期测量的选择，例如用于材料性能分析。
与标准干涉仪不同，在差分型中，参考光束从传感器头引出，并平行于测量光束。这一概念允许将传感器放置在离实际测量位置更大的距离处，而不会显著影响测量的分辨率或稳定性。该干涉仪的长度分辨率在亚纳米范围内，并且由于微分原理，即使在正常的实验室条件下，也可以在类似的测量或光束长度下实现。
如果使用倾斜不变反射器进行测量，则长度测量的测量范围可以是几米。干涉测量系统具有模块化设计，并且因此可以适用于相应的测量任务。
调整很简单，特别是可以长期稳定地实现。对基于SP 5000 DI干涉仪的干涉多轴系统的扩展允许同时进行多坐标测量。
球反射器直径15毫米
球形反射器单元
环境校正
产地：德国
位移测量范围：5 m
位移分辨率：5 pm
角度测量范围
带反射器：±12.5°
带平面镜（建议距离≤2m）：±1.5弧分
光束距离（标准）：21 mm
波长：632.8 nm
HeNe激光器的频率稳定性（预热时间之后）：2·10-8
HeNe激光器的预热时间：10 ... 20 min
工作温度范围：15 ... 30°C
测量反射镜的位移速度：max.3 m /s
传感器头和电子单元之间的电缆长度：3 m，max.10 m
电源：100 ... 240 VAC / 47 ... 63 Hz
尺寸（长x宽x高）
传感器头（带基板）：150 x 140 x 43 mm
电子供应和评估单元（标准）：450 x 400 x 150 mm
电子供应和评估单元（紧凑）：250 x 400 x 150 mm
重量
感测头：2.0 kg
底盘：1.5 kg
差分激光干涉仪可作为OEM版本提供，可作为编码器安装在机器轴上。对于真空测量，SP 5000 DI可作为真空优化版本提供。
标准光束距离为21毫米。我们可根据要求提供其他光束距离。
