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COHERENT准分子激光器VYPER.pdf下载
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VYPER 系列激光器是专为准分子激光退火 (ELA) 设计的多光束高功率准分子激光器。高分辨率移动显示器制造的高质量需求需要高品位低温多晶硅 (LTPS),该多晶硅 (LTPS) 只能使用准分子激光器制造。
这些激光器非常适合高功率 LineBeam 750 (VYPER)、LineBeam 1000 (TwinVYPER) 和 LineBeam 1500 (TriVYPER) 光学器件。
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脉冲激光沉积