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基于强大的 COMPex 准分子激光器的系统是用于具有线光束或方形光束场形状的高质量 UV 微加工的灵活工具。
光学设计、坚固的机械结构和具有脉冲间稳定性的准分子激光器可提供非常准确的结果。应用包括激光剥离 (LLO) 分离、掺杂剂离子激活、烧蚀图案化和薄膜退火。
激光剥离分离
掺杂离子激活
烧蚀图案
准分子激光退火
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