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ENTEGRIS氧气净化器PS6 系列.pdf下载
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有效去除散装气体中的 H2O、CO、CO2、H2 和 THC 杂质催化剂和吸附器 MegaTorr PS6 系列含氧气体净化器采用增强型优化设计，体积小巧，性能达到亚ppb 级。Entegris 凭借在超纯度 (UHP) 管道设计、新型工艺材料分析和集成控制系统方面的多年经验，开发了这一系列净化器，以满足低成本、高可靠性和高性能的需求。采用催化和吸附双重工艺，为半导体应用提供超纯度气体。加热催化剂容器将 CO、H2 和 THC 转化为 CO2 和 H2O，然后两个吸附器容器交替使用净化和再生模式去除 CO2 和 H2O，提供连续净化。优化设计，以较小的占地面积提供亚ppb 级性能，流量高达 16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
采用双重催化和吸附工艺，专为半导体应用提供超纯度气体
碳氢化合物 (CH4)、一氧化碳 (CO) 和氢气 (H2) 在高温下与氧化催化剂容器中的氧气 (O2) 发生反应，生成二氧化碳 (CO2) 和水 (H2O)，然后在常温吸附器容器中去除。
两个吸附器在净化和再生模式之间交替进行，提供连续的净化。
吸附器再生是通过在高温下反冲净化后的氧气来实现的
经过优化的设计可在较小的占地面积内实现亚ppb 级性能，流量高达 16,667 slpm（1,000 Nm3/hr）。
PS6-MGT15-O流量：15 Nm3/小时；250 slpm
PS6-MGT30-O流量：30 Nm3/小时；500 slpm
PS6-MGT60-O流量：60 Nm3/小时；1,000 slpm
PS6-MGT100-O流量：100 Nm3/小时；1,667 slpm
PS6-MGT200-O流量：200 Nm3/小时；3,333 slpm
PS6-MGT300-O流量：300 Nm3/小时；5,000 slpm
PS6-MGT400-O流量：400 Nm3/小时；6,667 slpm
PS6-MGT500-O流量：500 Nm3/小时；8,333 slpm
自动微处理器控制器
人机界面
系统报警
气-气热交换器
电燃气预热器
闭环温度控制
带门的全金属机柜
高温硬件联锁
过压释放系统
可提供其他流量
户外外壳选项（乳白色）
入口和出口隔离阀
带 4-20 mA 输出的质量流量计
入口和出口压力传感器
仪表空气管理系统
空气冷却热交换器
自动或手动旁路
0.003 µm 超细颗粒过滤器
独立控制电源
MODBUS 数据通讯端口
产地：美国
气体净化：O2
杂质去除率小于 1 ppb：H2O、CO、CO2、H2、CH4
PS6-MGT15-O流量：15 Nm3/小时；250 slpm
Max压降：< 0.7 bar (70 kPa)
高度：193 cm
宽度：89 cm
深度：84 cm
重量：< 600 kg
注意事项：净化器针对特定气体，只能用于规定气体。
半导体、数据存储、平板显示器、发光二极管、太阳能
