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连续高流量、使用点净化 XCDA（洁净干燥空气）净化气体，拥有成本低
GateKeeper 气体净化系统 (GPS) Z3 系列是 Entegris 新推出的连续服务气体净化系统。该系统为气体净化带来了新型的技术，为半导体制造商提供了创新、有效、经济的解决方案，用于净化干式和浸入式光刻工具中使用的净化气体。
新型 "Z3 "介质代表了 Entegris 在净化技术方面的新进展，其出口纯度可达到万亿分之一（ppt）的水平。该系统采用环境温度净化，因此净化时无需加热。这意味着节约资源和降低能源成本。全球定位系统能有效去除 CDA（空气）气体中的污染物，如挥发性酸碱、难熔化合物、可冷凝有机物和水分。
净化能力达到 ppt（百万亿分之一）级
压降低，无需改变入口压力
自再生净化器
拥有成本低
环境温度净化
断电不会损坏净化系统
GPS400Z3：Max流量 400 Nm3/hr (6211 SLM)
GPS500Z3：Max流量 500 Nm3/hr (7764 SLM)
GPS600Z3：Max流量 600 Nm3/hr (9317 SLM)
自动旁通阀、湿度指示器、带累加器的工艺气体质量流量计
产地：美国
净化气体：CDA（空气）
介质类型：无机
去除的污染物
挥发性酸：<1 ppt
挥发性碱：<10 ppt
难溶化合物：<1 ppt
可凝结有机物：<1 ppt
水分：<100 ppt
工作压力范围：5.51 至 17.23 巴（80 至 250 psig）
压降：< 14.5 psi @ 100 psig 和Max额定流量
Max流量：500 Nm3/hr (7764 SLM)
气体工作温度：15 至 40 °C (60 至 104°F)
出口过滤（ISO 1 级）：<10 颗粒/m3 @ 0.1 μm；<2 颗粒/m3 @ 0.2 μm
泄漏等级：1 × 10-9 atm cc/sec
光刻技术、FOUP 清洁和吹扫、储料器清洗和吹扫、需要 XCDA 净化气体的其他应用
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