ENTEGRIS 气体净化器 Luminousgard系列

可去除 CDA、N₂、Ar 和 He 气体中的杂质

优良的初始清洁度

有效去除气流中的微粒

无需电源即可使用

多种型号适用于各种流速

LUMINOUSGARD 气体净化器：Max流量 30 slpm

LUMINOUSGARD 1000 气体净化器：Max流量 200 slpm

LUMINOUSGARD 2000 气体净化器：Max流量 500 slpm

LUMINOUSGARD 4000 气体净化器：Max流量 800 slpm

订购编号LPDF 10R R4：Luminousgard 1000气体净化器 1/2 "垫片密封（兼容1/2 "VCR）公头

订购编号LPDF 10S S4：Luminousgard 1000 气体净化器 1/2" 压缩密封件（兼容 1⁄2" Swagelok卡套管接头）

产地：美国

滤芯材质：PTFE/PFA

外壳材质：316L/304 不锈钢

截留率

挥发性碳氢化合物：≥ 99.9 % （≥ C₆ 碳氢化合物）

挥发性酸：≥ 99.9 %（如 SO₂、SO₃、NO₂、HCl、H₂S）

挥发性碱：≥ 99.9 %（如 NH₃、CH₃NH₂、[CH₃]₃N）

颗粒：≥ 99.9999999 % 清除所有 ≥ 0.003 µm 的颗粒

初始下游清洁度

挥发性物质：≤ 1 ppb （≥C₆ 挥发性碳氢化合物数量 @ 1 slpm)

微粒：≤ 0.03 微粒/L ≥ 0.01 µm @ 30 slpm

入口/出口连接：1/2 英寸垫片密封（1/2 英寸 VCR 兼容）外螺纹接头

气体类型：CDA、N₂、Ar 和 He

Max流速：200 slpm

设计压力：0.98 兆帕（9.8 巴，142.1 psig）@ 25 °C (77 °F)

Max设计正向压差：0.7 兆帕（7 巴，101.5 psid）@ 25 °C (77 °F)

Max设计反向压差：0.25 兆帕（2.5 巴，36.3 psid）@ 25 °C (77 °F)

Max工作温度：50 °C (122 °F) - 惰性气体

大约产品重量：3.21 kg（7.08 磅）

使用寿命：准确确定使用寿命需要流量、占空比、杂质类型和杂质浓度。

洁净干燥空气 (CDA)、曝光设备的镜头吹扫气体管路、激光发生器的清洗气体管路、惰性气体供应管路