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ENTEGRIS气体过滤器Wafergard系列.pdf下载
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Wafergard III NF-750 镍过滤器是清洁、有效的全金属过滤器。镍滤膜具有高耐腐蚀性，与惰性气体和活性气体的兼容性高。创新的外壳设计消除了放气现象，缩短了干燥时间。Wafergard III NF-750 气体过滤器具有 Entegris 金属膜的强度和 PTFE 含氟聚合物过滤器的压降和紧凑尺寸。
清洁、有效的全金属过滤器
获得许可的镍滤膜
高耐腐蚀性
高温和动态压力应用的适配选择
通常用于流量高达 750 slpm 的场合
WG3NS7RR2：127 mm (5.00")；1⁄4" 密封垫片（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口
WG3NS7RR4：127 mm (5.00")；1⁄2" 密封垫片（与 VCR 接头兼容）外螺纹入口/出口
产地：美国
滤芯：烧结镍膜过滤器
外壳材质：电抛光 VAR 316L 不锈钢
颗粒下游清洁度：< 0.03 颗粒/升（<1 颗粒/立方英尺）> 0.01 µm @ 300 slpm
挥发性物质下游清洁度：H2O、O2 和 THC 的挥发性放气低于检测限（室温下通过 RGA 和 FID 检测）
去除率：≥ 0.0015 μm
内部表面光洁度：≤ 5 µin Ra
总流通面积：140.0 cm2
氦气泄漏等级合格：2 x 10-10 atm-cc/sec
氦气泄漏等级测试：1 x 10-9 atm-cc/sec
Max入口压力：52 bar (750 psig) @ 100 °C (212 °F)
Max正向/反向压差：7 bar (100 psid)
惰性气体工作温度：400 °C (752 °F) @ 27.5 bar (400 psig)
腐蚀性和活性气体工作温度：50 °C (122 °F) @ 52 bar (750 psig)
保修期：5 年
颗粒保留率：（以穿透力Max的颗粒尺寸为准）
在 300 slpm 时，对所有颗粒的去除率大于 99.9999999 %（9 LRV）；
在 750 slpm 时，对所有颗粒的去除率大于 99.9999 %（6 LRV）
超纯气体管路、高温应用、阀-歧管盒、新建工厂、升级现有的含氟聚合物过滤器、旋转冲洗干燥器、惰性气体和活性气体、散装气体、气相气体
