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ENTEGRIS密封气体过滤器SF Mini Plus.pdf下载
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SurfaceLine 过滤器提供业内较小的表面贴装设计。Wafergard SL 1.125" W-seal气体过滤器采用表面贴装设计，是业内适配过滤器。表面贴装式气体过滤器的设计目的是减少气体面板上用于标准在线设计的空间，同时减少投资并增加变化。有 SF Mini、SF Mini Plus 和 SF Mini XL 三种型号。SF Mini Plus 过滤器设计紧凑，节省空间，具有与 SF Mini XL 过滤器相同的高流速特性，是工艺气体和清洗气体的好选择。
SurfaceLine 集成式气体过滤器可节省气体面板的空间
全 316L 不锈钢结构与大多数半导体工艺气体（与 O3 不兼容）具有良好的化学兼容性
特殊的清洁技术和高温烘烤实现了高初始清洁度，并能快速启动气体输送
高流速和低压降特性适用于低蒸汽压气体
颗粒去除效率高，有助于提高产量
SF Mini Plus 过滤器设计紧凑，节省空间，具有与 SF Mini XL 相同的高流速特性，因此适合用于工艺气体和清洗气体
结构紧凑、节省空间、流量大
订购编号WGSLSFW1H：SF Mini XL
订购编号WGSLSFW1M：SF Mini
订购编号WGSLSHW1MP-T：SF Mini Plus
产地：美国
膜材质：316L 不锈钢
外壳、端盖材质：低硫 316L 不锈钢
内表面光洁度：≤ 7 µin Ra (Ra ≤ 0.17µm)
颗粒保留率：大于 99.9999 % ≥ 0.0015 µm（SF Mini @ 30 slm、SF Mini Plus @ 50 slm、SF Mini XL @ 60 slm）
初始下游清洁度：≤ 0.03 颗粒/升，≥ 0.01 μm
连接：1.125 英寸 W 形密封表面安装
设计压力：0.99 MPa @ 20 °C (68 °F)
Max压差：0.99 MPa @ 20 °C (68 °F)
Max设计温度：120 °C (258 °F) - 惰性气体
氦气泄漏等级
合格：2 x 10-11 Pa·m3/sec
已测试：1 x 10-10 Pa·m3/sec
超纯气体管路、高温应用、动态压力应用、气体面板
