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ENTEGRIS净化器PS2-GC50-R.pdf下载
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去除氮气和甲烷杂质，实现氩气、氦气、氙气、氮气和氢气的使用点净化。GateKeeper 加热捕集器 (HGU) 是需要去除 CH4 或 N2 杂质的使用点净化的理想解决方案。可净化的气体包括 Ar、He、Xe、N2 和 H2。
加热获取器技术可与杂质形成不可逆的结合，并将杂质去除到亚ppb级。与仅依靠表面吸附的环境净化技术不同，加热获取器技术利用了整个材料体积，因此杂质容量更大，净化器寿命更长
使用点 (POU) 气体净化可确保工艺性能的一致性和可重复性，将关键工艺区域与室内气体分配系统隔离，并防止气体纯度下降和交叉污染
能完整地去除稀有气体、氮气 (N2) 和氢气 (H2) 中的杂质
可靠性高、成本低、性能好
加热的获取器材料可与任何氧化物、碳化物和氮化物杂质形成不可逆的化学键
优化设计可提供亚ppb 级性能，优于气瓶或液体来源的气体
占地面积小，流速高达 150 slpm（9 Nm3/hr）。
PS2-GC50: 典型流速 0 - 0.2 slpm
PS3-MT3: 典型流速 0.2 - 3 slpm
PS4-MT3 和 PS4-MT15：典型流速 3 - 30 slpm
PS4-MT50: 典型流速 30 - 100/150 slpm
产地：美国
Max流速：0.2 slpm（氮气、氦气、氩气）
出口气体温度：< 50 °C (122 °F)
平均功耗：< 50 W
金属颗粒过滤器：20 μm
尺寸（高×宽）：23 × 10 cm（9 × 4 英寸）
重量：1.8 kg（4 磅）
标准配置：1/4 英寸 VCR 接头
可选功能：110 - 120 VAC 或 220 - 240 VAC
去除杂质：H2O、O2、CO、CO2、CH4、其他碳氢化合物、H2、N2
氮气出口纯度：<10 ppb；<50 ppb（CH4）
稀有气体出口纯度：<10 ppb
适用于气相色谱仪 (GC) 和其他低流量分析应用的小型经济型净化器
气相沉积工艺：MOCVD、PVD、CVD、外延、光刻技术、计量学、研发实验室实验、发光二极管、拉晶、植入、蚀刻、扩散和氧化过程、退火、光纤、分析、太阳能和光伏
