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ENTEGRIS净化柜RSPX-DPC-048SS-31A.pdf下载
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可进行单独吹扫,减少网罩内的微粒和湿气。光罩净化柜加入了我们完整的光罩处理和存储解决方案组合,有助于保持没有污染的环境。机柜设计支持所有 150 mm网纹栅 SMIF pod (RSP150)、200 mm网纹栅 SMIF pod (RSP200) 和EUV网纹栅 pod。
机柜可提供一种或两种清洗气体和多达 84 个清洗位置,从而可以对吊舱进行单独清洗,以减少吊舱内的颗粒和水分。每个机柜都包括一个 pod 监控系统,可实现可追溯性和足够的清洗时间。
符合人体工程学的设计使工厂人员能够有保障的装载
RFID 读/写功能实现了吊舱的可追溯性
集成的用户界面可提供有关吊舱位置和清洗时间的信息
可选择吹扫巢穴数量(可达 84 个),提供设计灵活性和多功能性
设计坚固,安装和维护简单
庞大的已安装客户群证明了产品的可靠性和性能
产地:美国
容量:24、36、48 或 84 个清洗套
清洗接口:RSP150 SMIF 或 RSP200/EUV 可选
RFID 识别:读/写功能
门:可根据需要提供
吹扫气体:1 或 2
接口:RSP150
冲洗废气:48
清洗气体:1
压力控制器:无
RSP150 SMIF 占地面积(长×宽×高):1.56 x 0.66 x 1.97 米(5.12 x 2.17 x 6.46 英寸)
RSP200/EUV 占地面积(长×宽×高):2.20 x 0.50 x 2.07 米(7.22 x 1.64 x 6.79 英寸);
3.33 x 0.50 x 2.07 米(10.93 x 1.64 x 6.79 英寸)
Reticle pod 存储、视网膜荚净化