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ENTEGRIS臭氧气体净化器GPUS200TOZ04R12CA.pdf下载
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优良的挥发性金属净化和颗粒过滤功能。GateKeeper GPU 臭氧气体净化器能有效减少臭氧气体中的固态和挥发性金属,如铬(Cr)和锰(Mn)。这些新型的净化器大大减少了晶片上的金属污染,提高了产量。新型的气体净化技术使铬的挥发去除率大于 99 %,这意味着臭氧气体输送系统所需的调节时间可以大大缩短。除了大幅缩短工具启动时间(取决于净化器的安装点)外,集成了 PTFE/PFA 颗粒过滤膜的净化器还有助于消除调节后的金属溢出,大大降低了金属污染造成晶片缺陷的风险。
新型的气体净化技术使铬的挥发去除率大于 99 %,大大减少了臭氧气体输送系统所需的调节时间
集成式 PTFE/PFA 过滤器可在介质净化后立即去除颗粒,从而减少晶片颗粒,并消除了对独立过滤器的需求
紧凑的直列式设计,采用垫片密封,便于快速安装
产地:美国
滤膜材质:聚四氟乙烯
净化介质材质:多孔无机材料
外壳材质:316L 不锈钢
内部表面处理:Ra <0.17 µm(电抛光)
截留挥发性金属:铬Cr和锰Mn
挥发性金属去除率:铬Cr > 99 %
颗粒:≥ 0.003 µm 的颗粒> 99.9999999 %
连接:1/4 "垫片密封
气体:臭氧 (O3) < 300 g/Nm3 浓度
入口铬Cr金属含量:<1 ppm
建议流量:5 至 25 slm
外壳设计压力:0.99 MPa (143.5 psig) @ 40 °C (104 °F)
臭氧气体净化条件
压力:20 kPa (2.9 psi)
温度:20 至 30 °C (68 至 86 °F)
化学气相沉积(CVD)工具、干法蚀刻/清洗工具、湿法蚀刻和清洗 (WEC) 工具