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ENTEGRIS比例控制阀NT6300系列.pdf下载
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在 CMP 浆料应用中实现线性、可靠的比例控制，NT6300 型比例控制阀专为高纯应用而开发。该阀与高腐蚀性工艺兼容，专为 CMP 浆料应用而设计，是解决当今流量控制需求的适配选择。该阀的润湿件采用 PFA 和 PTFE 材料，非润湿件采用惰性材料，可抵御恶劣的化学环境和外部喷淋。采用新型电机驱动技术，内部电子元件可控制阀门步进电机的所有方面。阀门的驱动采用 Entegris 先进的算法设计，以保持所需的设定点。
PFA 和 PTFE 润湿表面，具有广泛的化学兼容性，适用于高纯度应用
非金属外部组件，耐腐蚀性延长了产品使用寿命
双隔膜结构，防止电机和电子元件接触化学品。保护工艺免受污染
优化的阀座和隔膜设计，很大限度地减少死体积和流体剪切力，实现从全关到全开的可靠控制
占地面积小，便于在空间有限的地方安装
电机驱动技术，提供平稳、准确的线性控制
产地：美国
流体部件本体材质：PFA
隔膜材质：PTFE
非润湿部件材质：聚丙烯、氟橡胶、PVDF
响应时间：5 至 95 % 满刻度时< 4 秒
压力范围：100 至 414 kPa（-14.5 至 60 psig）
过压限制：689.5 kPa (100 psig)
过程温度：10 至 65°C (50 至 149°F)
电气输入：24 VDC ± 10 %，稳压
设定点输入信号：4 至 20 mA、0-10 VDC、0-5 VDC；还包括单独的归位线
外壳：NEMA 5 / IP 54
连接类型：Flaretek 管接头和 Super 300 型支柱管接头
符合认证：CE
关键分配、化学品添加和混合的控制、温度、压力、流量、电导率等任何独立模拟传感器的闭环控制
