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ENTEGRIS喷点系统IGHMV20PHKP3.pdf下载
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IntelliGen HMV20 喷点系统以两级喷点技术的成熟性能为基础，结合我们创新的 Connectology 过滤器设计，将高纯度过滤与中高粘度液体（300 至 1,000 cP）的可重复喷点集成在一起。我们的 Optimizer ST（OF 型）过滤器可轻松滑入系统隔室，使流体以设定截留率的流速通过过滤器，从而提高产量并延长正常运行时间。
集成的双压力传感器简化了配方编程和过滤器填料，在直观的编程界面中提供用户友好的分配诊断和实时警报。该点胶系统包括多项诊断功能（点胶、周期时间和 ΔP 确认），可在发生部分点胶或点胶失败时发出通知，有助于很大限度地减少因涂层问题造成的代价高昂的晶片缺陷。 我们的 IntelliGen HMV20 点胶系统设计紧凑、性能高、具有交互式诊断功能，是确保点胶重复性、延长过滤器使用寿命和提高回报的明智之选。
与 Connectology 过滤器设计相结合，两级分配技术将高纯度过滤与可重复分配融为一体，可靠分配中高粘度流体（300-1,000 cP），而不会牺牲过滤性能
实时交互式确认工具简化了系统配方和过滤器填料编程，并允许访问 SPC 数据，以更好地参与工艺过程
直观的编程界面提供用户友好的确认工具，并提供实时警报，有助于大限度地减少代价高昂的晶片缺陷
产地：美国
与介质接触的表面：PTFE、改性 PTFE、Kalrez 材料
体积：0.1-20.0 mL，增量为 0.001 mL
分配速度：0.1-3.0 mL/s，增量为 0.01 mL/s
重复性：< 0.03 mL 3 sigma
粘度范围：00-1,000 cP
Max分配设计压力：1 兆帕（150 psi）
填充、过滤、排气和吹扫速率：0.1 至 3.0 mL/s，增量为 0.01 mL/s
排气频率：自动排气或 1-10,000 次分配循环
机械连接类型：可互换的 Super 300 型 Pillar、Super 型 Pillar 接头
排气管外径：6.35 mm（0.25 英寸），9.53 mm（0.375 英寸）；内径：3.97 mm（0.156 英寸），6.35 mm（0.025 英寸）
入口和出口管道外径：9.53 mm（0.375 英寸）；内径：6.35 mm（0.25 英寸）
过滤器：Optimizer ST 过滤器 (OF)
入口气体类型：调节 N2 或 CDA
真空：- 68 kPa (20 " Hg)
额定电流：1.25 A
输入电压（系统）：24 VDC
串行通信：取决于接口模块
并行通信：触发和确认
尺寸（高×宽×深）：303.8 × 104.9 × 245.4 mm（11.96 × 4.13 × 9.66 英寸）
重量：约 9.6 千克（21.2 磅）
符合认证：CE
环境：限室内使用
海拔高度：< 2,000 米
环境温度：5 至 40 °C (41 至 104 °F)
中高粘度（300 - 1,000 cP）POU 光化学分配装置
