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ENTEGRIS分配系统MaxMT.pdf下载
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MaxMT 化学物质分配系统是很大限度提高化学物质利用率的创新解决方案，是 Entegris 下一代 ND-CD 连接器产品的代表。该分配系统由一个控制盒和两个连接器组成，具有 A-B 切换、顶空气体清除和空检测功能。使用一个控制箱和两个连接器能大限度地提高化学品利用率。
控制箱，提供一个用户界面，其中包含有效操作系统和控制分配过程的逻辑
带空检测技术的两个连接器，便于从罐中分配化学品，包括在分配化学品前清除顶空气体和检测空状态的技术
自动 A-B 切换，有助于降低运行成本
化学品分配系统设计，可很大限度地利用化学品，减少气泡缺陷
控制箱：提供用户界面，其中包含有效操作系统和控制分配过程的逻辑
连接器：两个，带空检测技术
EDA-B：MaxMT 连接器支架
EDA-D：用于 MaxMT 系统连接器的气体清洁夹具
EDA-E：用于 MaxMT 系统连接器的溶剂清洁夹具
EDA-G：进出延长电缆套件
ND-ED-CB-2：MaxMT 控制箱
ND-ED-CN-2：MaxMT 分配连接器
ND-ED-S-2：MaxMT 化学物质分配系统
PA-06：探头O型环，Kalrez，2个
PA-08：保持器 O 形圈，三元乙丙橡胶，10 个
产地：美国
电源：24 V直流，Min 1 A服务
压力：551.6 kPa（80 psig），要求高纯度硝化甘油（5.0 级或以上）
电源：24 VDC，3 线母电源电缆，带用于客户接口的松散引线
用于工具接口的空检测信号：3 线制 6 触点公连接器
氮气供应：直径为 8 mm的管接头（不包括氮气供应管）
结构材料：非浸湿
外壳：不锈钢
窗口：聚四氟乙烯涂层聚碳酸酯
启动和停止按钮、开/关开关、紧急停止 (EMO) 按钮：聚酯
标签：铝
空气接头：不锈钢
空检测信号电缆：聚丙烯
电源线：聚丙烯
排气消声器：聚乙烯、聚缩醛
控制盒与连接器之间的管路/电线距离：1.8 m（6 英尺）
重量：10.6 kg（23.3 磅）
螺纹类型：2-1/4 ACME 双启动
Max工作压力：103.4 kPa（15 psig）（美国境内）；206.8 kPa（30 psig）（美国境外）
连接器泄压阀：241.3 kPa（35 psig）标称开启压力
流体温度：25 °C (77 °F)
光阻/色阻、用于微电子应用的低粘度材料、其他液体材料涂层市场、该系统与生产工具集成，设计用于 10 至 40 升 NOWPak 内衬罐系统和盖子
