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真空兼容电动载物台MT167V-100是在7T167-50载物台的基础上设计的。该运动由步进电机通过减速齿轮和导螺杆产生。每毫米有1000步。单独的单元附有电机的电气参数和连接方案的指示。电机每转200步。为了驱动电机，我们提供一系列控制器。控制器可以在1，1/2，1/4，1/8步进分割模式下驱动电机。借助连接板2CP167V-100和角支架2AB167V-100，可以在两个或三个坐标系中组装平移台。
行程范围：100 mm
全步进分辨率：1µm
1/8步进分辨率：0.125µm
导螺杆螺距：0.5 mm
减速比：2.5/1
速度：max.2 mm/s
水平负载能力：6 kg
垂直负载能力：1.5 kg
电机：VSS42
集成真空兼容电缆：2米
连接器：HDB15（M）
限位开关：2，机械式
开关极性：按下即关闭
重量：1.6 kg
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