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WASCO真空开关SV120 系列.pdf下载
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自 1989 年以来，业界客户一直信赖 SV120 系列产品的可靠性和性能。该系列除采用全焊接结构外，还采用了全不锈钢传感器。SV120 系列采用 Wasco 专有的制造方法，消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择，精度高，公差小。我们为半导体设备等高纯度应用设计了这些开关。SV120 系列不含任何弹性体或 O 形圈。根据 SEMI F1 标准，所有开关的氦气泄漏测试值均为≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
为半导体设备等高纯度应用设计
不含任何弹性体或 O 形圈
符合SEMI F1 标准
氦气泄漏测试值均为≤ 1 x 10-9 std cc/sec
SV120-3 设定点范围：1.6 - 25.0 inHg
SV120-5 设定点范围：6.0 - 29.5 inHg
可提供其他配置带 1/4" 面密封和飞线
可提供其他配置带 KF25 接头和 9 针
产地：美国
Max系统压力：30.0 inHg
设定点范围：1.6 - 25.0 inHg
设定点公差：± 1.2 inHg
典型复位带：1.0 - 4.6 inHg
润湿元件 接头：316L SS
膜片：17-7PH SS
使用寿命：≥ 1,000,000 次
防护等级：IP 65
泄漏率：≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度：-65 至 225 °F；-54 至 107 °C
气箱、臭氧系统、气体分配系统、半导体设备
