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TPSS 产品具有高纯度、高强度和高耐腐蚀性等多种特性，TPSS是一种导电材料，不易产生静电。适用于半导体热处理炉的炉芯管、热平衡管、舟和叉。 此外，还提供采用 CVD 方法在产品表面镀上一层超纯致密碳化硅膜的产品，以满足用户的各种需求。
高纯度、高强度
高耐腐蚀性
均匀加热
耐热震性
抗氧化性
产地：日本
比热（室温，J/gK）：0.69
线膨胀系数（×10 -6 /K）：4.3（室温～1000℃）
导热系数（室温，W/mK）：175
耐热震温度（△T、℃）：400
表层材质：CDV碳化硅膜
体积电阻率（Ω厘米）：10-1
按等级进行化学分析：TPSS-U
Fe 2.5 Al 0.5 Na 0.2 K 0.2 Ca 0.7 Cu <0.01 Cr 0.1 Ni 0.3
表层材料热膨胀系数：碳化硅 4.3 石英玻璃 0.5氮化硅 3.5 硅 3.9
硝酸和氢氟酸的混合酸溶液：不会被腐蚀
炉芯管、热平衡管、舟和叉
