用于高度动态和振动敏感的机器和仪器的实时液位控制。
EPPC实时液位控制可实现+/-10µm的生产精度,并显著减少偏转和沉降时间,以响应动态负载变化基于智能浏览器的用户界面,用于设置、诊断和监控。
电子气动位置控制EPPC为高精度机器、高度动态和振动敏感的测量机器、显微镜以及测试和生产机器提供好的振动隔离。
EPPC可以与三到六个BiAir薄膜空气弹簧控制组组合,以控制多达六个自由度。Bilz为系统设计提供各种不同尺寸的空气弹簧。
电子气动液位控制系统与BiAir薄膜空气弹簧相结合,可实现位置精度,并减少动态负载变化时的偏转和沉降时间。
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- 位置精度(+/-10µm)
- 可单独调节的系统参数(如阻尼)
- 响应荷载变化的短挠度和沉降时间
- 每个自由度一个高性能伺服阀和一个位移传感器
- 采用CAN总线技术的优化连接系统
- 基于浏览器的智能用户界面,用于设置、诊断和监控,通过以太网连接,可进行远程维护
- 操作员状态显示(例如准备就绪、工作位置、动作完成、错误)
- 用于外部控制和监控的数字I/O接口
- 高分辨率信号处理和伺服阀技术带来的无噪声控制
- 坚固可靠的空气弹簧技术,可与Bilz BiAir®薄膜空气弹簧结合使用
- 无干扰发热、磁场波动或电磁执行器的高功耗
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- 典型系统负载:800 kg–120.000 kg
- 垂直固有频率:1,2–2,5 Hz
- 水平固有频率:2,2–2,8 Hz
- 控制类型:伺服气动
- 适合洁净室:是
- 通信接口:以太网、数字I/O
- 产地:德国
-传感器分辨率:
- 位移测量系统:0.76µm
- 压力传感器:0.36毫巴
- 采样率传感器信号:1 kHz(过采样后)
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- 高精度机器
- 振动敏感和高度动态的测量机
- 显微镜
- 半导体行业的测试和生产机器