TOUSIMIS 临界点干燥器 Automegasamdri-938

• 运行室中的专用初始慢速填充可以实现理想的流体动力学，从而保留敏感的微型设备。
• 通过可接近的部件，包括外部吹扫后过滤器组件，维护变得容易。
• “涡流”技术：非机械搅拌室，允许流体动态交换，无需产生颗粒的摩擦装置。
• 集成闭合冷却回路可快速降低腔室温度，缩短工艺运行时间。
• 内部SOTER（tm）冷凝器安静地捕获并分离二氧化碳废气和废酒精。
• 腔室插入件可实现腔室内径的变化，更大限度地提高LCO2消耗效率、工艺时间，并提供多种尺寸的晶圆工艺能力。
• 处理室LCO2过滤至0.08μm，颗粒保留率达到99.999%+。
• 每次运行可处理五个8“（200mm）晶圆。包括以下HF兼容晶圆夹：8”（200mm）、6”（150mm）、4”（100mm）、3”（75mm）、2”（50mm）和10mm模具夹。
• 通过观察窗口实现腔室照明，有助于腔室状态可视化。
• 自动处理与工厂默认配方或自定义自己的能力。
• 所有内表面对二氧化碳和超纯醇都是惰性的。
• 可重复的操作参数，确保结果的“再现性”。
• 操作功能集成在温度和压力自动调节中。
• 洁净室无静电兼容设计。

8760-03：8“工艺室用KNURL螺母

8760-41：适用于Autosamdri、Automegasamdri和触摸屏C系列的3A保险丝

8760-42：适用于Autosamdri、Automegasamdri和触摸屏C系列的8A保险丝

8770-13：LED室灯，120V

8770-32：高压软管，5英尺

8770-33：高压软管，10英尺

8770-80：4“工艺腔室的腔室盖

8785：双T形过滤器组件

8770-83B：用于LCO2 T型过滤器或外部吹扫管线过滤器的0.5µm不锈钢颗粒过滤器元件。

8784-05：LCO2储罐连接垫片

8770-51T/916B：AutomegaSamdri-938和AutomegaSambri-916B的O型环

8770-48：流量计-与Automegasamdri-938或Automegasamdri 916B（180 SCFH）一起使用

8770-54：LCO2油箱秤，带远程显示器

8768H：8“-200毫米HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆

8768A：6“-150mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆

8768F：5“-125mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆

8768B：4“-100mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆

8768C：3“-75mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆

8768D：2“-50mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆

8768G：1“-25mm HF兼容晶圆架，容纳5个晶圆

8768E：10mm方形HF兼容芯片支架，可容纳5个芯片

产地：美国

柜子：19.8" (50.3cm)宽x 31.7" （80.6cm）深x 44.5" （113.0cm）高

系统设置区域占地面积：27" （68.6cm）宽x 38" （96.5cm）深

腔室尺寸：8.50“内径x 1.25”深度

腔室容积：1162 ml

电压：120V或220V

频率：50-60Hz

流量控制：微型计量阀

晶圆尺寸：可达8"-200mm

编织线材质：SS316

编织线长度：10ft/3m（其他长度可根据要求提供，可达100ft/30m）

过滤器组件：双T形，预装

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