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WASCO真空开关UC8系列.pdf下载
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UC8 系列采用 Wasco 专有的制造方法和 EIgiloy 隔膜。它具有高纯度和高耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择,精度高,公差小。我们设计的 UC8 系列适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境。UC8 系列的额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次。UC8 系列可提供满足或超过 SEMI F20 UHP 要求的材料选项。根据 SEMI F1,所有开关的氦气泄漏测试均达到≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境
额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次
经过氦气泄漏测试
符合 SEMI F1 标准
泄漏量≤1 x 10-9 std cc/sec
UC8-A:激活点范围:50 至 1500 Torr(abs压力)
UC8-G:激活点范围:2 至 20 PSIG 压力表压力
可提供符合或超过 SEMI F20 UHP 要求的材料选项
可提供其他激活范围
可提供更高的压力
产地:美国
激活点范围:50 至 1500 Torr(abs压力)
复位带:40 Torr + 启动点的 6 %(典型值)
激活点公差:± 15 Torr +2 %激活点(典型值)
耐压:100 PSIG
爆破压力:Min 1000 PSIG
润湿元件
工艺接口:316L SS SEMI F20 UHP 兼容
隔膜:埃尔吉洛伊Elgiloy
内表面处理:5 Ra
预期寿命:≥ 2,000,000 次 95B2(取决于应用情况)
防护等级:IP 67(abs配置)
泄漏率:氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度:-20至 60 ℃(-4至 140 °F)
非操作温度:-40至 100 ℃(-40至 212 °F)
气箱、IGS 配气盘、配气系统、阀组箱体、蚀刻和沉积系统