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WASCO真空开关UC8系列.pdf下载
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| 产品型号 | 操作 |
|---|
UC8 系列采用 Wasco 专有的制造方法和 EIgiloy 隔膜。它具有高纯度和高耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择，精度高，公差小。我们设计的 UC8 系列适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境。UC8 系列的额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次。UC8 系列可提供满足或超过 SEMI F20 UHP 要求的材料选项。根据 SEMI F1，所有开关的氦气泄漏测试均达到≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境
额定 95B2 应用周期超过 2,000,000 次
经过氦气泄漏测试
符合 SEMI F1 标准
泄漏量≤1 x 10-9 std cc/sec
UC8-A：激活点范围：50 至 1500 Torr（abs压力）
UC8-G：激活点范围：2 至 20 PSIG 压力表压力
可提供符合或超过 SEMI F20 UHP 要求的材料选项
可提供其他激活范围
可提供更高的压力
产地：美国
激活点范围：50 至 1500 Torr（abs压力）
复位带：40 Torr + 启动点的 6 %（典型值）
激活点公差：± 15 Torr +2 %激活点（典型值）
耐压：100 PSIG
爆破压力：Min 1000 PSIG
润湿元件
工艺接口：316L SS SEMI F20 UHP 兼容
隔膜：埃尔吉洛伊Elgiloy
内表面处理：5 Ra
预期寿命：≥ 2,000,000 次 95B2（取决于应用情况）
防护等级：IP 67（abs配置）
泄漏率：氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度：-20至 60 ℃（-4至 140 °F）
非操作温度：-40至 100 ℃（-40至 212 °F）
气箱、IGS 配气盘、配气系统、阀组箱体、蚀刻和沉积系统
