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用于激光故障注入的S-LMS显微镜站是集成电路安全评估的高精度平台。它允许将激光点聚焦在芯片上并通过背面扫描样品，以评估电子元件的安全级别。S-LMS显微镜允许注射、聚焦和扫描一个激光点至1米的点大小，同时用红外摄像机从背面观察样品。
980 和/或 1064 nm 的单模激光
脉冲亚纳秒到连续波
时间精度 <8 ps
频率高达 250 MHz
>92% 透射率
同轴红外视觉
可以由Python控制和驱动
光电发射选项
激光热刺激选项
esDynamic软件平台
单模光纤激光器
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PDM+/PDM+ HP |
PDM4+ and PDM4+ HP |
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脉冲持续时间 |
从1.5纳秒到连续波 |
从1.5纳秒到连续波 |
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峰值功率 |
高达3.2瓦 |
高达10瓦 |
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波长 |
980纳米；1064牛米 |
980纳米；1064牛米 |
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重复率 |
从单发到250兆赫 |
从单发到250兆赫 |
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命令接口 |
TTL/LVTTL /软件& dlls |
TTL/LVTTL /软件& dlls |
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光束质量 |
单模 |
单模 |
InGaAs 红外相机
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Captor |
640x512 µm |
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动态量程 |
140 dB |
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接口 |
USB(包含软件) |
电学
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电压 |
220 V/110 V |
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电流 |
16 A |
自动位置调节系统
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轴数 |
3 |
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行程范围 |
52 mm |
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分辨率 |
0.315 µm |
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重复性 |
+/- 0.8 µm |
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速度（max.） |
20 mm/s |
故障注入
光发射
热刺激
