迄今为止，我们积累的知识已生产出 600 多种类型的被动隔振器。对我们的主动隔振器的需求也在不断增长，尤其是在半导体等高精度制造行业。以MAPS系列为基础，开发出高性能合理的主动气动悬架系统MRZ系列。可应用于半导体设备、电子显微镜、测量机等。
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- 每个单元有两个气压执行器：垂直和水平，可以体验良好的隔振、准确定位性能。
- FB+FloorFF控制。
- 实现轻巧紧凑，省电，价格合理。
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- 产地:日本
- 供给气压:0.6～0.8(洁净干燥空气)MPa
- 典型耗气量:45-65l/min
- 最大耗气量:120l/min
- 电源电压:100～240(单相交流电，50/60Hz)V
- 最大功耗:120VA
- 环境温度:0～40℃
- 相对湿度:35-85%RH
- 隔振方式:通过气压控制隔振
- 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
- 控制器质量:7.5kg
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