基于激光的观察系统专为基于电介质/压电的高频器件（例如 SAW 滤波器（叉指换能器 (IDT)）和薄膜体声波谐振器 (FBAR) 的表面声波 (SAW) 和体声波 (BAW) 的可视化而设计。
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- 适用于不同频率下物理声波传播的分析
- 短时间广域观测
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- 产地：日本
- 振动检测方法：基于Sagnac干涉仪的振动检测（峰值频率灵敏度：5GHz）
- 振动观测方法：用激光束探头进行台架控制扫描观测（用于平面外振动）
- 观察光源：二极管激光器（波长：650nm，典型），发光二极管
- 可用物镜：×20、×50、×100物镜
- 观测频率：500MHz～6GHz（典型值）
- 驱动信号输入范围*1:50MHz～6GHz（-120dBM～+15dBM）*2
- 最大可分析面积：25mm×25mm
- 可接受的工作量：最大8英寸晶圆
- 样品台：电动X-Y台
- 结构：主体/电气单元/信号发生器/锁定放大器/舞台驱动器/PC/软件
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