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天津瑞利光电科技有限公司
企业认证
产品数量：1610
企业类型：
公司
法人姓名：
陆兆航
注册号：
120118000217796
经营状态：
存续
成立日期：
2016-12-27
注册资本：
580万人民币
省份：
天津
组织机构代码：
MA05MALTX
统一社会信用代码：
91120118MA05MALTXU
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天津瑞利光电科技有限公司

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CDE 四点探针电阻仪 ResMap 178
CDE 四点探针电阻仪 ResMap 178
产品编码： P2a55046

CDE 四点探针电阻仪 ResMap 178

品      牌
CDE
型      号
ResMap 178
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ResMap 178
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产品介绍

ResMap Model 178已成为成本效益电阻率测量的行业标准。该四点探针旨在满足工艺开发和工具表征工程师的需求，具有所需的准确性、可重复性和可靠性。其庞大的安装基础证明了其性能、易用性和低拥有成本。

CDE的成立旨在为半导体及相关行业开发和制造高性能、高性价比的晶圆计量工具。CDE ResMap是一系列适用于各种应用的自动电阻率测绘系统。4点探针测量工具是一种仪器，用于测量导电介质（通常是半导体应用的薄膜）中的薄层电阻（或Rs）。

  • 01
    性能特点
    • 准确性
    • 可重复性
    • 可靠性
  • 02
    技术参数
    • 晶片处理：手动装载
    • 晶圆尺寸：2英寸至8英寸
    • 尺寸：12英寸x 19英寸x 10英寸
    • 典型测量时间：每个站点1秒
    • max吞吐量：每片晶圆1分钟（49个站点）
    • 测量范围：2米Ω/-5米Ω/（可以优化到1米Ω/）
    • 重复性（1σ，典型）：≤±0.02%（静态或Rs-pack）；≤±0.1%（动态近点）
    • 精度：使用NIST traceableResCal标准≤±0.5%
    • min边缘排除：1.5mm（探头中心到薄膜边缘）
    • 交流电源：100V至240V<10 KVA
    • 产地：美国
产品资料
  • CDE四点探针电阻仪ResMap 178.pdf
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