J.A.Woollam 椭圆仪 M-2000

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J.A.Woollam

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产品型号	波长范围	精度值	测量时间	测量方式	入射角范围	膜厚测量范围	可测材料	应用	操作
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产品介绍

M-2000系列椭圆偏振仪专为满足薄膜表征的各种需求而设计。先进的光学设计、宽光谱范围和快速数据采集结合在一个极其强大和多功能的工具中。M-2000 兼具速度和准确性。我们获得专利的 RCE 技术将旋转补偿器椭圆偏光仪与高速 CCD 检测相结合，可在几分之一秒内通过各种配置收集整个光谱（数百个波长）。M-2000 是一款擅长从现场监测和过程控制到大面积均匀性映射和通用薄膜表征的所有方面的椭圆仪。没有其他椭圆仪技术能够更快地获取全光谱。

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性能特点

◆先进的椭圆仪技术

M-2000 利用我们获得专利的 RCE（旋转补偿器椭偏仪）技术来实现高精度。

◆快速光谱检测

RCE 设计与先进的、经过验证的 CCD 检测兼容，可同时测量所有波长。

◆宽光谱范围

收集从紫外线到近红外的 700 多种波长——全部同时进行。

◆灵活的系统集成

M-2000 采用模块化光学设计，适合直接连接到您的处理室或配置在我们的任何桌面底座上。

◆准确性

先进的设计可确保对任何样品进行准确的椭圆偏光测量。
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技术参数

◆光谱范围

D：193-1000 nm

X-210：210-1000 nm

X：245-1000 nm

U：245-1000 nm

V：370-1000 nm

+I：增加 1000-1690 nm

◆波长数

D：500个波长

X-210：485个波长

X：470个波长

U：470个波长

V：390个波长

+I：增加190个波长

◆探测器：感光元件

◆入射角

45°-90°（自动角度底座）

20°-90°（立式自动角度底座）

65°（固定角度底座）

65°（测试底座）

◆数据采集率（完整频谱）：0.05 秒（典型值为 2-5 秒）

◆max基材厚度：18mm

◆电源要求：100/240 伏交流电，47-63 赫兹，<1 安培

◆产地：美国
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产品应用

M-2000是一款多功能的光谱椭偏仪，适用于多种不同的样品类型。涂层可以是电介质、有机物、半导体，甚至是薄金属。

◆光学镀膜

◆化学/生物学

◆导电有机物

◆半导体

◆光伏

◆原位