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Reflection DHM 是反射配置的全息显微镜。它们是测量全反射和部分反射物体的理想选择。它们能够处理低反射界面（反射率低至1%以下），是对各种样品进行准确光学形貌测量的理想仪器。
有三种可用配置，由波长的数量和组合定义：
R-1000系列：单激光源
R-2100系列：双激光源
R-2200系列：三个激光源
产品：瑞士
配置：单激光源
特异性：单波长
测量模式：单波长
分辨率：亚纳米
测量：实时
精度（通过在30次测量中对1个像素进行时间标准偏差来证明）：0.15 nm
垂直分辨率（定义为精度的两倍）：0.30 nm
重复性（通过在SiC参考镜上进行30次重复性测量的一sigma Rq值来证明）：0.01 nm
垂直测量范围（无任何扫描）：连续结构可达200μm
带锐边台阶的高度（取决于激光源和工作波长）：max. 333 nm
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