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步进电机驱动的工作台，非常适合定位需要高刚度和高精度的测量仪器或检查工具。
速度：max.120mm/秒
平台材料：铝
传感器零件号
微光传感器：GP1S092HCPIF（夏普公司）
平台尺寸：120×120mm
背隙：3μm
节距：45〃
力矩刚度/节距：0.12〃/N･cm
力矩刚度/偏航：0.08〃/N･cm
力矩刚度/滚动：0.1〃/N･cm
偏航：30〃
限位传感器（正常关闭）：配备
运动损失：5μm
定位精度：30μm
定位滑轨：外导轨结构
行程：800mm
接近原点传感器（正常打开）：配备
位置重复性：8μm
原点传感器（正常打开）：配备
重量：15.8kg
运行平行度：30μm
进给螺杆滚珠丝杠直径：φ10mm，10mm导程
负载能力：196N（20.0kgf）
涂层：黑色阳极氧化
分辨率（全）：20μm/脉冲
分辨率（一半）：10μm/脉冲
平行度：50μm
传感器/输出逻辑
阴影时：输出晶体管关闭（不导通）：限位传感器
阴影时：输出晶体管ON（导通）：原点传感器、接近原点传感器
传感器/电流消耗：80mA或更低（每个传感器20mA或更低）
传感器/控制输出：NPN开路集电极输出DC30V或更低，50mA或更低
传感器/电源电压：DC5～24V±10%
电机/电机步进角：0.72°
电机/电机类型：5相步进电机0.75A/相（Tamagawa Seiki Co.，Ltd.）
电机/电机零件号：TS3667N43E967(□42毫米）
兼容控制器：SHOT-702H、SHOT-302GS、SHOT-304GS、HIT-MV・HIT-SA、PGC-04-U、HSC-103
兼容驱动程序：MC-S0514ZU、SG-514MSC、MC-S7514PCL
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