KLA带有 6 路连接器探头与CDE工具制造的探头非常相似，但探头头不可互换，因此应格外小心，尤其是当两个系统都在现场使用时。CDE兼容探头具有独特的黑色物镜转换器。所有 Jandel 探头都具有高水平的机械精度。通过视频检测系统和光学干涉仪验证半径、间距和平面度的规格。负载由电子测力计验证。
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- 探头间距：0.500mm，0.635mm，1.00mm，1.016mm，1.27mm，1.591mm（针至针头）
- 公差：+/- 10微米
- 布置：线性或方阵列
- 针头：碳化钨直径为0.4mm（直径为0.3mm的距离间距）
- 针头选项：50％osmium合金提示可用
- 半径：12.5、25、40、100、150、200、300、500微米
- 缩放到垫子：0.5毫米
- 平面性：+/- 0.025mm或更好
- 负载：固定在10克和250克之间
- 电气泄漏：500伏特的针之间的1013欧姆电阻
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