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用于硅晶片的全光学非接触式厚度传感器
高动态范围,能够测量混乱的表面
能够在湿蚀刻过程中进行原位测量
SIT-200使用高速扫频可调激光器(而不是宽带光源)来探测被测晶片。这样就可以对每个波长进行更高功率的测量,从而实现高动态范围。即使在未抛光的晶片上,例如在湿蚀刻期间/之后,也可以进行厚度测量。硅晶圆厚度传感器由精确调谐的波长扫描激光源,聚焦传感器和光接收器(PD)构成。波长扫描光聚焦在目标上,并且在通过传感器后,PD会检测到从目标表面反射回来的干涉图样。
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