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快速，精确，准确地测量小样本和大样本
315毫米x 315毫米大扫描区域
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复杂的分析和自动化软件
CT 300是一种非接触轮廓仪，具有315 mm的x，y运动系统。它可以处理12英寸的晶圆或其他大型基板和零件。使用彩色白光传感器和高达20 kHz的数据采集速率，可以将检查时间减至最少。共聚焦显微镜和3D白光干涉仪传感器在低至0.1 nm的z方向上提供了无与伦比的分辨率。利用多传感器技术，可以同时安装多个传感器头，包括用于测量晶圆厚度的红外干涉仪。
典型的应用是印刷过程的分析和质量控制，例如PV太阳能电池，基板材料的进料检查，各种基板上的厚膜测量，浆料仓库，环氧膜，点或其他印刷和印刷的体积测量。分配的功能。 高轮廓物体的几何形状和位置测量（如焊料凸块，微透镜和MEMS器件）以及平面度和共面性分析是其他受欢迎的应用。由于CT 300在整个行程中保持高精度，因此可以快速而精确地检查较大的零件，例如晶片，垫片或玻璃镜片。
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