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快速准确的双面扫描系统
测量速度:2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移动300 mm(200 mm),横向分辨率为50 nm,电动z轴分辨率为20 nm
2D轮廓,3D地形图和3D厚度图
扫描范围大
x,y,z分辨率,行程为max.300 mm(200 mm)
零件厚度max.80 mm
彩色白光传感器
高分辨率离轴相机
CT 350T是一款非接触式双面光学轮廓仪,具有300毫米x,y扫描台。顶部和底部传感器安装在行程为100 mm的高精度Z轴上。双面自动对焦功能甚至可以测量严重弯曲或弯曲的零件。两个传感器均收集与x,y编码器信号同步的高度数据,并轴向对齐以确保精确的差分厚度测量。该软件同时从顶部和底部表面生成2D轮廓和3D贴图,并计算相应的总厚度轮廓或贴图。
运动系统使用快速,准确的磁性直线电机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器,可以将检查时间更小化。通过在平台孔上安装转接板,该系统可以用作标准光学表面轮廓仪,使CT 350T成为功能广泛的表面和厚度测量系统。该系统也有较小的版本,如CT 250T,具有200 mm的行程,非常适合8英寸晶圆或基板和太阳能晶圆。