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镜头与XY振镜扫描仪结合使用称为F-Theta镜头，平面领域目标或简易扫描镜头。ƒ-Theta镜头在工业材料加工，钻孔，合成材料的焊接的各种应用中使用，还包括在科学和研究领域中的医疗和生物（共焦显微镜，眼科）切割。设计和光学部件的质量正在发挥决定性作用。对比于一个理想的平面或平面场，标准镜片在球面上聚焦激光束。采用ƒ-Theta镜头提供了聚焦表面、整个XY平面图像和扫描区域几乎不变的光斑尺寸。平面上点的位置与扫描角是成正比的。
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