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产品型号 | 操作 |
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最大测量直径:500μm
最大测量高度:300mm
工作台直径:150mm
最大转速:12转/分
测量范围:500μm
分辨率:0.005μm
尺寸(长×宽×高):-
主轴径向误差:±(0.0125+3H/10000)μm
H=到工作台高度:±(0.0125+4×/10000)μm
台面直径:150mm
调整范围:调偏心±2mm;调水平±1°
承载重量:20KG
旋转速度:0-12转/分
直线度(窄范围):0.35μm /100mm
直线度(全范围):0.6μm /300mm
定位速度:1mm/s-8mm/s
光栅分辨率:1μm
回转轴线与Z轴导轨平行度:1μm /300mm(母线基准)
移动精度:1.5μm/150mm
水平移动距离:160mm