主营产品
联系方式
直接驱动,无槽,无刷伺服电机
零齿槽电机,出色的速度稳定性
出色的误差运动和摆动性能
直联式高精度旋转编码器
薄型平面设计
没有机械接触
Aerotech的ABRS系列旋转气浮载物台以超薄的外形提供了角度定位,速度稳定性和误差运动性能。ABRS旨在满足晶圆检查,高精度计量,X射线衍射系统,光学检查和制造以及MEMS /纳米技术设备制造的严格要求。
紧凑包装
ABRS系列直接驱动旋转平台的设计已经过优化,可大程度地减少平台高度。平台的低矮外形降低了系统的有效工作高度,从而减少了与“堆积”有关的错误。除了较低的总高度外,ABRS系列还提供了一个通孔,可用于产品直通,激光束传输,电缆间隙或特定应用的要求。
机械设计
ABRS设计具有大的空气轴承表面,具有很高的刚度和承载能力,不仅产生出色的轴向和径向误差运动,而且产生出色的倾斜误差运动。所产生的面误差运动明显优于其他旋转式空气轴承工作台和主轴,极大地受益于需要出色平面性能的应用。
无刷直驱
为了更好的定位性能,ABRS系列采用了Aerotech的S系列无槽无刷电机。电机采用磁路设计,可产生高扭矩输出,而产生的热量最少。无槽设计本质上是零齿槽和无转矩纹波。这使得ABRS位移台非常适合需要低速或高速扫描速度的应用。
准确定位
光学编码器是ABRS的标准配置。与Aerotech的反馈乘法器和控件配合使用时,分辨率可达到<0.03弧秒。
定制设计
定制版本的ABRS可用于费率表和惯性制导试验台应用。