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开/闭环旋转行程11/9 mrad
开/闭环0.2 / 0.02µrad分辨率
高平面行为
定义明确的旋转中心轴
中心孔径直径3mm
温度补偿
ROTOR 10是一轴高精度旋转平台。它提供高达11µmrad的长转向和扫描范围。定义明确的旋转轴位于中心。中心孔也允许轴向光束应用。由于这些平台的FEA优化，您可以达到更高的动力学性能和较高的平面引导精度。即使在紧凑的设计中也可以承受高质量负载。优化还结合了出色的温度补偿特性。固态挠性铰链的精密整体式导向设计意味着该轨迹没有机械游隙和摩擦力-所有压电系统耶纳级位移台都具有这一功能。ROTOR 10也可与应变仪测量系统一起使用。
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