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天津赛力斯自动化科技有限公司
企业认证
产品数量:17573
授权经销品牌
代理品牌
企业类型:
公司
法人姓名:
陆春梅
注册号:
120112000100742
经营状态:
存续
成立日期:
2010-11-23
注册资本:
500万人民币
省份:
天津
组织机构代码:
56610139-6
统一社会信用代码:
911201125661013965
天津赛力斯自动化科技有限公司
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18622238076
sales@celiss.com
供应产品分类
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PALOMAR 高真空炉 3150
PALOMAR 高真空炉 3150
产品编码: P5401744685867728903

PALOMAR 高真空炉 3150

品      牌
型      号
数      量
型号规格
产品型号 重量 防护等级 环境温度 工作温度 外形尺寸 功能 配置 额定功率 输入电源 压力范围 冷却方式 额定电压 容量 分类 热源 气体环境 其他特性
操作
3150
产品介绍

3150高真空炉封装采用非常低的真空和湿度水平密封,以延长长期性能。提供低至 10-7 Torr 的真空度和高达 500°C(可选 1000°C)的温度。洁净室兼容系统还可配置为允许盖子和封装的原位分离、吸气剂烧制和MEMS封装的密封。使用涡轮分子阻力泵来有效泵送氢气分子。对于需要很低水平残留水蒸气的工艺,可以将可选的低温水泵添加到系统中。

  • 01
    性能特点
    • 高真空能力
    • 可选的低温水泵
    • 涡轮分子泵
    • 压力为12 psig
    • 自动线性运动阶段
    • 电阻石墨热系统
    • 专有运行分析仪软件
    • 自动温度和压力控制
    • 分布式逻辑控制系统
    • 原位热量激活
    • 所有配置文件运行的实时绘图
    • 温度高达1000°C(可选)
  • 02
    技术参数
    • 工作温度范围:室温至500°C(1000°C选项)
    • 热工作区:25“2(160 cm2)
    • min真空水平:<1 x 10-7托尔(1.3 x 10-7mbar)
    • max室内气PSI:15 psig(1.8 bar)
    • 室深度:12英寸(305毫米)
    • 工作表面高度:37英寸(95厘米)可调
    • 需要压缩空气:90 psig(7 bar)
    • 冷却方法:可编程氮气清洗
    • 加热方法:可移动的电阻石墨夹具
    • 工艺气体(三个输入):需要N2,(AR,HE,形成气体可选) @ 90psig(7 bar)min压力
    • 尺寸(w x d x h):94“ x 43” x 54“(238 x 109 x 137 cm)
    • 体重:1800磅(816公斤)
    • 电气(指定电压):208-240伏,60安培,50/60 Hz,1阶段,7.3千瓦平均值,13.2千瓦峰
    • 真空泵类型:涡轮分子阻力(可选的低温水泵)
    • 冷却水:2 GPM(8 lpm) @ 20-25°C,2千瓦的容量min

     

     

     

     

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