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天津赛力斯自动化科技有限公司
企业认证
品牌授权
产品数量：17572
授权经销品牌
代理品牌
企业类型：
公司
法人姓名：
陆春梅
注册号：
120112000100742
经营状态：
存续
成立日期：
2010-11-23
注册资本：
500万人民币
省份：
天津
组织机构代码：
56610139-6
统一社会信用代码：
911201125661013965
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天津赛力斯自动化科技有限公司
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SIERRA 流量计 SmartTrak 50系列
SIERRA 流量计 SmartTrak 50系列
产品编码： P5400185071569207303

SIERRA 流量计 SmartTrak 50系列

品      牌
SIERRA
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产品型号 介质 其他特点 安装方式 公称通径（DN） 公称压力（PN） 介质温度 输出方式 材质 精度 流量范围 环境温度 工作电压 相对湿度 工作温度 技术类型 应用
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SmartTrak 50系列
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产品介绍

SmartTrak 50系列经过优化，具有长期过程控制应用所需的稳定性、可靠性和操作简单性，以经济的价格提供高精度和可靠的气体质量流量控制。max流量范围从50 slpm增加到200slpm。这使得它非常适合控制晶圆清洁和抛光操作中使用的载气，或PVD和其他半导体操作中的吹扫控制。它还擅长一般应用中常见气体的质量流量控制。模拟和数字输入和输出均可用，使 50系列能够与较旧的模拟系统或新的多点数字工具一起使用。零位和跨度的现场调整使校准中的小调整能够与现场过程保持一致条件。

  • 01
    性能特点
    • 控制气体质量流量至 200 slpm (nlpm)
    • 针对长期过程控制优化的稳定性和可靠性
    • 非常适合控制晶圆清洁和抛光操作中使用的载气
    • 广泛用于物理气相沉积 (PVD) 和其他半导体工艺应用的腔室吹扫操作
    • 精度：普通气体（空气、Ar、CO2、CO、CH4、He、H2、O2、N2）的 +/- 1.0% 满量程
    • 重复性：+/- 0.25% 满量程
    • 先进的 316L SS 铂传感器技术和专利 LFE 提供良好的线性性能
    • 铝或 316 SS 流动体，带 Viton 弹性体
    • 带有可选模拟设定值/输出信号的本地显示和数字设定值控制
    • RS-232 与 PLC 或工作站轻松连接（提供用户软件）
    • 现场可调零位和跨度
    • RS-485（可寻址）支持在复杂半导体工具内联网
    • 强大的直动式控制阀可max限度地减少泄漏
  • 02
    技术参数
    • 精度：满量程的 +/- 1.0%，包括在 32° 至 122°F（0° 至 50°C）和 5 至 145 psig（0.3 至 10 barg）的校准条件下的线性度，适用于常见气体：空气、Ar、CO2 、CO、CH4、He、H2、O2、N2。
    • 重复性：+/- 0.25% of full scale
    • 温度系数：0.025% of full scale per°F（0. 05% of full scale per °C）或更好
    • 压力系数：0.01%of full scale per psi（0.15% of full scale per bar）或更好
    • 响应时间：2 秒（典型值）到终值的 +/- 2% 以内，包括设置时间。50系列可调整为更快或更慢（咨询工厂）
产品资料
  • SIERRA流量计SmartTrak 50系列.pdf
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